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制氮机在电子制造行业的应用

氮气化学性质稳定、惰性强,核心作用:隔绝氧气、防潮防氧化、吹扫洁净、气氛保护。制氮机现场制取高纯氮气,替代液氮钢瓶供气,广泛用于 SMT&PCB、半导体芯片、显示面板、锂电池、光电子元器件全流程。

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一、主要应用场景

1. SMT & PCB 印制电路板

1回流焊、波峰焊

氮气在炉膛形成无氧氛围,阻止熔融焊锡氧化;减少锡渣生成(降低锡材消耗 80% 以上);提升焊锡润湿能力,减少 BGA 空洞、虚焊、连锡、焊点发黑。

推荐纯度:99.99%4N);高端精密主板 / BGA 建议 99.999%5N),常压露点≤-40℃ 2FPC 柔性板、陶瓷基板激光切割 高纯氮气辅助切割,抑制铜箔、金属线路氧化,减少切口毛刺、碳化,保证线路导电性能。 3)氮气烘箱、真空充氮烘烤 电路板、元器件高温除水汽、固化,防止铜箔氧化发黑、引脚变色。 4)吹扫工序 清洗后氮气吹干板面助焊剂、粉尘;产线设备管路置换吹扫。

2. 半导体集成电路

电子制造对氮气纯度要求最高领域

 1晶圆制造(前道) 光刻、刻蚀、薄膜沉积(CVD/PVD)、退火工艺;氮气用作载气、吹扫气、惰性保护气,隔绝微量氧与水汽,避免硅片表面污染、薄膜缺陷。

成熟制程(28–90nm):≥99.9995%5N5

先进制程(14nm 及以下):超高纯氮气 6N5~8N,露点≤-90℃,杂质控制 ppb 级别 2IC 封装测试(后道) 金线 / 铜线键合、塑封、固晶、焊线、封装烘烤;防止键合金属氧化,提升封装可靠性; 晶圆、芯片氮气柜、防潮储存,避免湿敏元器件 MSD 受潮氧化。

常规封装:氮气纯度≥99.999%5N

3. 显示面板行业

1OLED 有机材料蒸镀:有机发光材料极易氧化,蒸镀腔体全程氮气惰性保护; 2)薄膜溅射、退火、封盒工序; 3)背光模组、LED 芯片封装、固晶焊线保护。 纯度需求:99.999%

4. 锂电池制造

电解液、负极材料遇水、氧气极易发生副反应,必须低氧低湿氮气环境:

极片涂布、烘烤、粉料储存;

手套箱、干燥房气氛置换;电芯注液、封装、化成; 作用:防止极片氧化、减少电池鼓包、提升循环寿命。 要求:氮气≥99.999%,露点≤-60℃,氧含量严格控制

5. 光电子、元器件制造

LED、电容、电感、连接器、传感器、光学元件:

真空充氮封装、烧结、焊接保护;

成品氮气防潮仓储;

焊接、镀金、镀银工序防氧化。

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、电子行业制氮系统关键配置要点

前置:螺杆空压机 + 冷冻式干燥机 + 精密过滤器,保证进气洁净;

主机:PSA 制氮设备;高纯度工况配套催化除氧纯化器

后置:深度吸附干燥,严控露点;多级无尘过滤器(满足洁净室颗粒物要求);

控制系统:在线氧含量实时监测、纯度低限报警、联锁排空,杜绝不合格氮气流入产线;

管路:高纯工况选用不锈钢抛光管道,减少二次污染;

重要产线建议配置氮气缓冲罐、备用机组,避免停机停产。


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