氮气化学性质稳定、惰性强,核心作用:隔绝氧气、防潮防氧化、吹扫洁净、气氛保护。制氮机现场制取高纯氮气,替代液氮钢瓶供气,广泛用于 SMT&PCB、半导体芯片、显示面板、锂电池、光电子元器件全流程。

一、主要应用场景
1. SMT & PCB 印制电路板
1)回流焊、波峰焊
氮气在炉膛形成无氧氛围,阻止熔融焊锡氧化;减少锡渣生成(降低锡材消耗 80% 以上);提升焊锡润湿能力,减少 BGA 空洞、虚焊、连锡、焊点发黑。
推荐纯度:99.99%(4N);高端精密主板 / BGA 建议 99.999%(5N),常压露点≤-40℃ 2)FPC 柔性板、陶瓷基板激光切割 高纯氮气辅助切割,抑制铜箔、金属线路氧化,减少切口毛刺、碳化,保证线路导电性能。 3)氮气烘箱、真空充氮烘烤 电路板、元器件高温除水汽、固化,防止铜箔氧化发黑、引脚变色。 4)吹扫工序 清洗后氮气吹干板面助焊剂、粉尘;产线设备管路置换吹扫。
2. 半导体集成电路
电子制造对氮气纯度要求最高领域
1)晶圆制造(前道) 光刻、刻蚀、薄膜沉积(CVD/PVD)、退火工艺;氮气用作载气、吹扫气、惰性保护气,隔绝微量氧与水汽,避免硅片表面污染、薄膜缺陷。
成熟制程(28–90nm):≥99.9995%(5N5)
先进制程(14nm 及以下):超高纯氮气 6N5~8N,露点≤-90℃,杂质控制 ppb 级别 2)IC 封装测试(后道) 金线 / 铜线键合、塑封、固晶、焊线、封装烘烤;防止键合金属氧化,提升封装可靠性; 晶圆、芯片氮气柜、防潮储存,避免湿敏元器件 MSD 受潮氧化。
常规封装:氮气纯度≥99.999%(5N)
3. 显示面板行业
1)OLED 有机材料蒸镀:有机发光材料极易氧化,蒸镀腔体全程氮气惰性保护; 2)薄膜溅射、退火、封盒工序; 3)背光模组、LED 芯片封装、固晶焊线保护。 纯度需求:99.999%
4. 锂电池制造
电解液、负极材料遇水、氧气极易发生副反应,必须低氧低湿氮气环境:
极片涂布、烘烤、粉料储存;
手套箱、干燥房气氛置换;电芯注液、封装、化成; 作用:防止极片氧化、减少电池鼓包、提升循环寿命。 要求:氮气≥99.999%,露点≤-60℃,氧含量严格控制
5. 光电子、元器件制造
LED、电容、电感、连接器、传感器、光学元件:
真空充氮封装、烧结、焊接保护;
成品氮气防潮仓储;
焊接、镀金、镀银工序防氧化。

二、电子行业制氮系统关键配置要点
前置:螺杆空压机 + 冷冻式干燥机 + 精密过滤器,保证进气洁净;
主机:PSA 制氮设备;高纯度工况配套催化除氧纯化器;
后置:深度吸附干燥,严控露点;多级无尘过滤器(满足洁净室颗粒物要求);
控制系统:在线氧含量实时监测、纯度低限报警、联锁排空,杜绝不合格氮气流入产线;
管路:高纯工况选用不锈钢抛光管道,减少二次污染;
重要产线建议配置氮气缓冲罐、备用机组,避免停机停产。
山东捷气气体设备有限公司 地址:山东省济南市章丘区龙跃街2100号产发先进装备智造港 备案号:鲁ICP备2020034881号-1
免责声明:网站部分图片和内容来源于网络,如有问题请及时与我们联系。